Processus de base du revêtement JKL PVD

(1) Traitement pré-PVD, y compris nettoyage des pièces et prétraitement.Les méthodes de nettoyage spécifiques comprennent le nettoyage au détergent, le nettoyage au solvant chimique, le nettoyage aux ultrasons et le nettoyage par bombardement ionique.
(2) Mettez-les dans le four, y compris le nettoyage et les accessoires de la chambre à vide, ainsi que l'installation, la mise en service et la connexion des éléments et des accessoires.
(3) Vide, pompant généralement à 6,6 Pa ou plus, ouvrez l'avant de la pompe à diffusion plus tôt pour maintenir la pompe à vide et chauffer la pompe à diffusion.Une fois que le préchauffage est suffisant, la vanne haute est ouverte et pompée jusqu'à un demi-vide inférieur de 6 x 10-3 Pa avec une pompe à diffusion.
(4) Cuisson, cuisson des articles à la température désirée.
(5) Bombardement ionique, le vide est généralement de 10 Pa à 10-1 Pa, la tension de bombardement ionique est une haute tension négative de 200 V à 1 KV et le temps d'attaque est de 15 min à 30 min.
(6) Pré-fusion, réglage du courant pour pré-fondre le matériau, réglage du courant pour pré-fondre le placage et dégazage pendant 1 min ~ 2 min.Dépôt évaporant.Le courant d'évaporation est ajusté selon les besoins jusqu'à ce que le temps de dépôt souhaité soit écoulé.Refroidissement, les articles sont refroidis à une certaine température dans la chambre à vide.
(7) Une fois les articles retirés, la chambre à vide est fermée, le vide est évacué à l × l0-1Pa et la pompe à diffusion est refroidie à la température admissible avant que la pompe de maintenance et l'eau de refroidissement puissent être éteintes.
 


Heure de publication : 07 septembre 2021